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進(jìn)口調(diào)節(jié)閥

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首頁(yè) - 閥門知識(shí) -工作原理

進(jìn)口真空閥門的相關(guān)專業(yè)術(shù)語(yǔ)

進(jìn)口真空閥門的相關(guān)專業(yè)術(shù)語(yǔ)

真空閥門是指在真空系統(tǒng)中

，用來(lái)改變氣流方向
，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件
，是指工作壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的閥門
。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來(lái)密封的
。專業(yè)術(shù)語(yǔ)，指特定領(lǐng)域?qū)σ恍┨囟ㄊ挛锏慕y(tǒng)一的業(yè)內(nèi)稱謂
，該詞運(yùn)用在各行各業(yè)中
。本文詳細(xì)描述進(jìn)口真空閥門領(lǐng)域?qū)σ恍┱婵臻y門的統(tǒng)一的業(yè)內(nèi)稱謂。具體描述如下：

、 真空閥門

真空閥門是在真空系統(tǒng)中用來(lái)隔離（切斷）氣流

、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件
。

真空閥門的應(yīng)用

真空閥門常用于真空泵抽速測(cè)量

、真空鍍膜、離子束刻蝕
、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上
，提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量，用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度
；高真空擋板閥
、高真空插板閥，常用于主抽氣泵的進(jìn)氣口上
，用來(lái)隔離真空泵
，使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室
，真空管道與真空泵之間
，用以接通和隔離（截止）氣流。閥門設(shè)計(jì)不應(yīng)當(dāng)漏氣
、發(fā)生機(jī)械

、電氣故障等。

、真空閥門的真空的定義

真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)

。

2、真空閥門的真空度

處于真空狀態(tài)下的氣體稀簿程度

，通常用“真空度高”和“真空度低”來(lái)表示

。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思

。

、真空閥門的真空度單位

通常用托（Torr）為單位，近年國(guó)際上取用帕（Pa）作為單位

。

1托＝1/760大氣壓＝1毫米汞柱

、托與帕的轉(zhuǎn)換

1托＝133.322帕　或　1帕＝7.5×10-3托

、平均自由

作無(wú)規(guī)則熱運(yùn)動(dòng)的氣體粒子，相繼兩次碰撞所飛越的平均距離

，用符號(hào)“λ”表示

。

6、真空閥門的流量

單位時(shí)間流過(guò)任意截面的氣體量

，符號(hào)用“Q”表示

，單位為帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。

、流導(dǎo)

表示真空管道通過(guò)氣體的能力

。單位為升/秒（L/s），在穩(wěn)定狀態(tài)下
，管道流導(dǎo)等于管道流量除以管道兩端壓強(qiáng)差
。符號(hào)記作“U”。

U＝Q/(P2- P1)

、真空閥門的壓力或壓強(qiáng)

氣體分子作用于容器壁的單位面積上的力

，用“P”表示。

、標(biāo)準(zhǔn)大氣壓

壓強(qiáng)為每平方厘米101325達(dá)因的氣壓

，符號(hào)：（Atm）。

、極限真空

真空容器經(jīng)充分抽氣后

，穩(wěn)定在某一真空度，此真空度稱為極限真空

。通常真空容器須經(jīng)12小時(shí)煉氣

，再經(jīng)12小時(shí)抽真空，最后一個(gè)小時(shí)每隔10分鐘測(cè)量一次

，取其10次的平均值為極限真空值

。

11、抽氣速率

在一定的壓強(qiáng)和溫度下

，單位時(shí)間內(nèi)由泵進(jìn)氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率

，簡(jiǎn)稱抽速。即Sp＝Q/（P－P0）

、電離真空計(jì)（又熱陰極電離計(jì)）

由筒狀收集極

，柵網(wǎng)和位于柵網(wǎng)中心的燈絲構(gòu)成，筒狀收集極在柵網(wǎng)外面

。熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子

，離子被收集極收集，根據(jù)收集的離子流大小來(lái)測(cè)量氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

、熱偶真空計(jì)

利用熱電偶的電勢(shì)與加熱元件的溫度有關(guān)，元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)

、電阻真空計(jì)

利用加熱元件的電阻與溫度有關(guān)

，元件的溫度又與氣體傳導(dǎo)有關(guān)的原理，通過(guò)電橋電路來(lái)測(cè)量真空度的真空計(jì)

。

、冷陰極電離計(jì)

陽(yáng)極筒的兩端有一對(duì)陰極板，在外加磁場(chǎng)作用

，陽(yáng)極筒內(nèi)形成潘寧放電產(chǎn)生離子

，根據(jù)陰極板收集的離子流的大小來(lái)測(cè)定氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)。

、復(fù)合真空計(jì)

由熱偶真空計(jì)與熱陰極電離真空計(jì)組成

，測(cè)量范圍從大氣~10-5Pa。

、麥克勞真空計(jì)（壓縮式真空計(jì)）

將待測(cè)的氣體用汞（或油）壓縮到一極小體積

，然后比較開管和閉管的液柱差，利用玻義爾定律直接算出氣體壓強(qiáng)的一種絕對(duì)真空計(jì)

。

、B－A規(guī)

這是一種陰極與收集極倒置的熱陰極電離規(guī)。收集極是一根細(xì)絲

，放在柵網(wǎng)中心

，燈絲放在柵網(wǎng)外面，因而減少軟X射線影響

，延伸測(cè)量下限

，可測(cè)超高真空。

、水環(huán)真空泵

泵的葉輪轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生水環(huán)

。由于轉(zhuǎn)子偏心旋轉(zhuǎn)而使水環(huán)與葉片間容積發(fā)生周期性改變而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵。

、往復(fù)真空泵

利用活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行抽氣的機(jī)械真空泵

。

21、油封機(jī)械真空泵

用油來(lái)保持密封的機(jī)械真空泵

，可分為定片式

、旋片式、滑閥式

、余擺線式等

。

22、羅茨真空泵

具有一對(duì)同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機(jī)械真空泵，此泵不可以單獨(dú)抽氣

，前級(jí)需配油封

、水環(huán)等可直排大氣的真空泵。

、渦輪分子真空泵

有一高速旋轉(zhuǎn)的葉輪

，當(dāng)氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片相碰撞時(shí)就被驅(qū)向出氣口再由前級(jí)泵抽除。

、油擴(kuò)散真空泵

擴(kuò)散泵噴口中噴出高速蒸汽流

。在分子流條件下，氣體分子不斷地向蒸流中擴(kuò)散

，并被蒸汽帶向泵出口處逐級(jí)被壓縮后再由前級(jí)泵排除

。

25、低溫真空泵

利用20K以下的低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵

。

、冷阱（水冷擋板）

置于真空容器和泵之間，用于吸附氣體或捕集油蒸汽的裝置

、氣鎮(zhèn)閥

油封機(jī)械真空泵的壓縮室上開一小孔

，并裝上調(diào)節(jié)閥，當(dāng)打開閥并調(diào)節(jié)入氣量

，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到某一位置

，空氣就通過(guò)此孔摻入壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分蒸汽不致凝結(jié)而和摻入的氣體一起被排除泵外起此作用的閥門稱為氣鎮(zhèn)閥

。

、真空冷凍干燥

真空冷凍干燥，也稱升華干燥

。其原理是將材料冷凍

，使其含有的水份變成冰塊，然后在真空下使冰升華而達(dá)到干燥目的

。

、真空蒸鍍

真空環(huán)境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍

，或叫真空鍍膜

。

30、真空干燥

利用真空環(huán)境下沸點(diǎn)低的特點(diǎn)來(lái)干燥物品的方法

。

、真空系統(tǒng)常用名稱

(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來(lái)滿足特定工藝要求的真空泵

，如真空鍍膜機(jī)中的油擴(kuò)散泵就是主泵

。

(2)前級(jí)泵：用于維持某一真空泵前級(jí)壓強(qiáng)低于其臨界前級(jí)壓強(qiáng)的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級(jí)泵。

(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣

，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵

。如真空鍍膜機(jī)中的滑閥泵，就是粗油泵

。

(4)維持泵：在真空系統(tǒng)中

，氣量很小時(shí)，不能有效地利用前級(jí)泵

。為此配置一種容量較小的輔助泵來(lái)維持主泵工作，此泵叫維持泵

。如擴(kuò)散泵出口處配一臺(tái)小型旋片泵

，就是維持泵。

、真空閥門的設(shè)計(jì)原則

、閥門的密封性能要好，不但閥板封閉處漏氣速率要小
，而且閥體的漏氣速率要�
。�

、閥門密封部件耐磨性要好
，特別是閥座與閥板密封部件要能反復(fù)使用，壽命長(zhǎng)
；

、閥門的通導(dǎo)能力要大；

、閥門材料應(yīng)具有低飽和蒸汽壓
、高耐蝕能力和高化學(xué)穩(wěn)定性；

、超高真空閥門應(yīng)耐烘烤
，烘烤溫度一般不低于150℃，gao450℃
；

、閥門結(jié)構(gòu)要簡(jiǎn)單，造型美觀大方

，開關(guān)輕便靈活

，開關(guān)狀態(tài)應(yīng)有標(biāo)識(shí)，大型閥門應(yīng)有起吊裝置

，操作方便

，維修容易；

　　7、閥門零部件加工工藝性要好

，表面處理工藝先進(jìn)

，閥門連接法蘭應(yīng)符合真空法蘭國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)要求。

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